Анализаторы моделей этой серии – 5910 UHP и 5920 UHP, - предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых в производстве электронных компонентов. Анализаторы используют пьезокристаллический принцип измерения. Для проверки правильности показаний на потоке анализаторы оснащены встроенной системой коррекции нуля, а также генератором влажности, работающим в диапазоне единиц ppb и использующим изменение температуры для создания необходимого уровня влажности. Возможно исполнение анализаторов для монтажа в стойку 19" для работы в системах подачи газовых смесей.

Анализаторы могут быть использованы и для других задач, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.

Особенности

• Быстрый отклик
• Высокая чувствительность и низкая погрешность в диапазоне ppb
• Совместимость с большинством газов, используемых при производстве микросхем, включая кислород, водород и их смеси
• Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности